1）File>New，然后点击Project>Insert HFSS Design，新建一个Project。当然可以通过File>Open，打开一个已经存在的Project。
2）HFSS>Solution Type，设置解算类型，确定如何激励和收敛。HFSS有三种解算类型，第一种是模式驱动（Driven Modal），根据波导模式的入射和反射功率表示S参数矩阵的解；第二种是终端驱动（Driven Terminal），根据传输线终端的电压和电流表示S参数矩阵的解；第三种是本征模（Eignemode），求解物理结构的谐振频率以及这些谐振频率下的场模式。
3）创建互连结构模型。HFSS拥有强大的全参数三维模型创建功能，简单的实体建模中，直接使用HFSS中提供的基本图形（主菜单>Draw）即可，当创建复杂的物体时，可以用布尔运算操作（3D Modeler>Boolean）完成挖洞、切开或连接等功能。
4）在创建每一个基本结构单元时，HFSS都会提示确定其属性，如介电常数等，默认的材料特性是真空（Vacuum）。
5）指定平面设置边界条件（HFSS>Boundaries>Assign）。HFSS有多种边界条件，在高速设计中最常用的有，理想电边界（Perfect E）表示电场垂直于表面。任何与背景相关联的物体表面和任何被赋值为PEC（理想电导体）的物体表面将被自动地设置为Perfect E边界；理想磁边界（Perfect H）是指电场方向与表面相切；阻抗边界（Impedance）用解析公式计算场行为和损耗的电阻性表面；辐射边界（Radiation）也被称为吸收边界，用来模拟开放的表面；完美匹配层边界（PML）用一种非实际的、阻抗与自由空间相匹配吸收层来模拟开放空间。
6）指定端口设置激励（HFSS>Excitations>Assign）。HFSS主要有波端口（Wave Ports）和集中端口（Lumped Ports），而在高速设计中，使用波端口的情况比较多。HFSS假定你定义的波端口连接到一个半无限长的波导，该波导具有与端口相同的截面和材料，每个端口都是独立地激励并且在端口中每一个入射模式的平均功率为1瓦，使用波端口可以计算特性阻抗、复传播常数和S参数。
值得注意的是，在设置波端口大小时也是很讲究的，以经常遇到微带线端口为例，如果设微带线宽为W，高为h，设置如图1所示。
图1 微带线波端口大小设置
7）分析设置。通过HFSS>Analysis Setup>Add Solution Setup可以进行自适应频率和收敛标准的设置，通过HFSS>Analysis Setup>Add Sweep可以得到互连结构的扫频响应，通常选择插值（Interpolating）扫频。
8）数据处理（HFSS>Results）。HFSS具有功能强大又很灵活的数据管理和绘图能力，可以输出适合于Matlab编程，后缀为.m的S/Y/Z矩阵参数文件。