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用sonnet仿真硅衬底上的共面波导要注意些什么?

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仿真了很久,但是总也不正确,在低频下的s参数和测量值不符合,s11的测量值在50Mhz的时候是-25,而仿真值是-40,高频比较符合,只是低频不对。
测量结果绝对是正确的。
我就不知道在si衬底上仿真共面波导有什么特点。si衬底的电导率设定了,端口也是+1、-1这样加上了。
低频段我觉得是衬底什么地方没搞好,si02厚度为10,si厚度为750,金属厚度未知。

反正我觉得用这个软件做微带还是比较准确的

我在用pspice做微带线的仿真,但是si衬底的电导率是怎么查到的呢,我看书上说,si衬底的电导率在0.000几到100000都有值,一般的芯片si衬底的电导率都在那个数量级上呢?
新开始学这个,很菜

还想问问,书上说微带线有三种模式,慢波模式、趋肤效应模式、介质准TEM模式,我现在想用这几个模式给出的公式计算微带线的等效电阻、电容、电感电导参数,但是除了si衬底的电导率不好确定之外,还有其他一些参数,比如下面8-2里的eox是啥呀
大家计算的时候都用下面的公式么,还是用些别的

你做的东东太细了,偶没做过,呵呵,不好意思了先。

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