请教各位 有谁知道怎么查硅的磁导率吗
12-12
Google上找不着。。。
除了磁性物质, 相对导磁率都约等于1
所以μ_si=μ_0=4π×10e-7 H/m
Niknejad, Ali M.的博士论文Analysis, simulation, and applications of passive
devices on conductive substrates对半导体工艺中使用到的物质的磁导率有描述
zan & thx
多谢~
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