请教HFSS仿真CPW时的问题

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很简单的对称结构CPW，用Lumped Port作为端口，两个gap与中间的signal宽度和固定在200um，AlN衬底，用小软件算出来Signal宽度在110um附近的特征阻抗为50欧姆，但是用HFSS仿真出来的时候却是在70um附近S11最小，而且S11在10G附近出现极小值峰。我怀疑是不是因为在70um附近实际是形成驻波，而在端口处为波谷？于是改变共面波导长度，确实消除了极小值峰。各位高手看看我的想法有没有问题？S11不能反映真实匹配状态么？还是我在建模的过程中可能存在什么问题？

有些东西还是没说,CPW的另外一头呢。

另一头也是Lumped port，都归一化50欧姆了，应该是相当于匹配负载吧

建模有没有问题？

想问个无关的问题
像AlN这种陶瓷衬底，一般怎么开孔啊？

可以用ICP刻蚀

又把参数改了改，重新计算，结果非常奇怪，信号线宽度越窄，S11越小，好像S11跟阻抗匹配条件没有关系一样。苦闷中……

把端口设成waveport看看。

这种东西用ICP刻蚀速度怎么样啊？
这是基于AlN等衬底的标准工艺不？

port和积分线的设置有没有问题？

附件为模型

lump port的size太长了，会有电感效应，高频会影响,最好要calibrate掉。
电容效应也一样的情况。两边的port怎么不对称阿?

将lumped port缩短到1um，signal/gap=84/33情况下特征阻抗为50欧姆，但仿真出来signal/gap=54/48时S11最小

你计算的软件肯定没考虑两边不对称的情况
如果你想验证hfss是否准确你完全可以建摸简单点直接把它当成传输线
就是两块地中间信号线然后两边用waveport
仿真结束后一定要看下两边port的电场分布看是否符合实际情况就是准tem模
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请教一下，在建模的时候，两个端口waveport或者Lumpedport是否相当于接上了匹配的
网络，即计算的S11是相当于另一端接匹配电阻的结果么？谢谢

s11不就是这么定义的吗
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