求教用HFSS仿真无源平面电感
12-12
对于一个无源电感
下底面是Si，厚度525um
上面成长一层SiO2，厚度0.5um
然后在上面覆盖一层介质层，厚度10um
在介质层上面用铜作平面电感，厚度10um
我用HFSS仿真2G，扫描0.1-10G，网格数设置为10w，观察电感的Q值
发现仿真结果有以下几个问题：
1。在低频0.1-1G时，仿真曲线不平滑，有凸起
2。增加介质层厚度（从10->15->20->25->30等），按理Q应该增加，但仿真中10与15结果相近，20与25结果相近，以此类推。
我老板给出的结论是网格的问题，但是对于525um以及0.5um和10um，该如何分别设置网格比较合适，我曾简单试过，但没有理论根据，ms解决不了问题
下图是仿真的结果，麻烦大家出出主意，我是一个HFSS新手，对于电磁场理论知道的也不多，还请大家多多帮忙讨论讨论，谢谢了：）
下底面是Si，厚度525um
上面成长一层SiO2，厚度0.5um
然后在上面覆盖一层介质层，厚度10um
在介质层上面用铜作平面电感，厚度10um
我用HFSS仿真2G，扫描0.1-10G，网格数设置为10w，观察电感的Q值
发现仿真结果有以下几个问题：
1。在低频0.1-1G时，仿真曲线不平滑，有凸起
2。增加介质层厚度（从10->15->20->25->30等），按理Q应该增加，但仿真中10与15结果相近，20与25结果相近，以此类推。
我老板给出的结论是网格的问题，但是对于525um以及0.5um和10um，该如何分别设置网格比较合适，我曾简单试过，但没有理论根据，ms解决不了问题
下图是仿真的结果，麻烦大家出出主意，我是一个HFSS新手，对于电磁场理论知道的也不多，还请大家多多帮忙讨论讨论，谢谢了：）
10万的网格是你设置的？不对吧，应该是自己迭代增长的吧
关于第一点，我觉得还是比较平滑的，仿真本来就不是100%的准确
关于第二点，我给个建议，不用改网格，因为你的厚度是以5um递增的，因此你可以将介质厚度的基本值设为5um,10um就画两层，15um画3层，以此类推，这样的话，相当于你人为设定了网格的划分，类似HFSS中的虚拟物的应用，你可以试试。
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