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lumpport设置不对

05-08
用HFSS做片上电容的仿真,模型如下:


其中传输线为共面波导CPW形式,中间蓝色部分为通孔,红色为金属,红色和CPW中间隔有SiO2。现在要计算这个贴片电容的C值,公式为:

C=10^15*im(Y(1,1))/(2*3.14*freq)

(因为freq为GHz所以前面有10^15的系数)

扫频范围1030GHz,中心频率20GHz。

lumpport如图:


结果如下,计算得到的C=-12563.6412:


我看过其它人尺寸和我一样,做出来的结果为:


尺寸和lumpport设置、求解设置都和我一样,但是结果就是不一样,有没有高手遇到过类似的情况,或者帮我看看是哪里出了问题?

把模型和参考的资料贴出来看看

模型:



红色部分为电容片capacitor(300nm),灰色为共面波导传输线CPW(700nm),深蓝色为通孔via(连接CPW中心线和下面的电容片,300nm)
电容片和CPW中间有两层SiO2(150nm+150nm=300nm),下面的粉红色为Si衬底(380um)。
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参考的是别人做的文件:



尺寸、设定和我的完全一致,结果就是不一样T_T

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