平板电极中用HFSS如何设置激励
05-08
有个问题想请教一下，在真空腔体中有上下两个方形极板，上层板电压为100V，下层板为0V，电极接点在上电极板背面中心处，加载频率13.56MHz射频源。
我用HFSS做的，在设置激励的时候选的是上极板背面加电压，但是电场线的方向应该怎么设定啊?
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