单由HFSS仿真出来的数据可靠不可靠？

怎么说呢，如果这种行业软件都不能完成自己的使命，那也不存在什么竞争力了。
个人感觉，HFSS仿真的准确性还是很高的。

不确定，没有对比结果，尤其在 THz这个频率

你可以同时用CST,FEKo，然后比较结果。其实应该不会相差很多，因为用matlab计算结果跟HFSS差不多。问题在于如何更接近实际，那就是网格划分的问题，如果可以，试试更小的网格划分，然后再比较结果

在绝大多数的工程实践中，收敛后的仿真结果是可靠的。尤其是中小规模的微波器件及天线常很准。

呵呵，仿真这个东西只能说是一种参考，最关键的还是实际产品性能。精度要看你的经验了，只能说明是向西不是向东，具体偏移多少，这个不是太精确，因人而异。
可以选择两种软件一起求解，做个比较，然后再决定

实际可能并非软件的问题，而是实际中衍生出来的问题，比如工艺结构不合理，比如加工的偏差并不能在软件中体现出来，甚至你的测试设备带来的误差等。如果要实际的进行测试，可以进行对比：要么软件进行对比，要么是做出来的东西考虑到偏差后进行对比。这样的效果才是有意义的。单纯的说不准确，没有信息量。