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ESD如何仿真?

05-08

请教!
HFSS 中不知道可否仿真 ESD 问题?

ESD主要涉及半导体材料特性,用HFSS估计很难仿真,一般用TCAD工具,涉及到工艺参数@@

ESD是静电场的施放,HFSS不能仿真

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