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求助高手关于GaAs工艺线问题

05-08
Mask layer (include backside) 选取2mil和4mil的电路性能有什么区别?
Mask layer指的是什么?
感谢

Mask layer:是指光刻掩蔽版,2mil和4mil是指特性尺寸,一般指栅宽,主要区别在于器件的频率指标不一样

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