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请教一个电小尺寸的仿真问题

05-08
最近要仿真一个高介电常数的共面波导,主要是想看一下传输线附近场的分布。传输线宽大概15um,
传输线跟地之间缝隙20um,
介质厚度250um,
用HFSS仿真,网格太密跑不动,太梳,结果又不对,局部加细过结果也不对,请教各位这种问题如何解决?

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