倒装焊工艺及常见失效模式
05-08
引线键合作为传统方式,目前能承载引线数量极限约为600~800根,并且可靠性不高,容易出现问题。以重点型号使用的某国产器件为例,最初采用引线键合工艺,大约700根金丝,试验中发生搭丝短路现象。因此迫切需要倒装焊等工艺来满足型号的应用需求。但是当前国内倒装焊由于缺乏有效的生产过程考核检验,在我国高可靠应用领域尚属禁限用工艺。
倒装焊是一种芯片封装技术,将芯片有源面朝下,分布着互连微凸点阵列,并与芯片底座或基板互连。
从结构和材料角度,通常分为三类:气密性倒装焊器件、陶瓷非气密性器件和塑封倒装焊器件。
倒装焊器件生产关键工艺主要指UBM制作、植球、芯片放置、互连反应、清洗和底部填充,这些特殊工艺决定了倒装焊器件失效机理的特殊性。
因此只有掌握失效模式和机理才能采取相应保证措施,从而尽可能避免失效的发生。常见的失效模式主要有热膨胀系数不匹配导致失效、底部填充胶分层开裂失效、机械应力导致的芯片损伤失效、电迁移失效、腐蚀失效等。
1、热膨胀系数不匹配导致失效
由于各材料的热膨胀系数不一样,当温度变化时,相连材料会产生不同的应变量,出现尺寸偏差,并且在芯片和基板之间产生相反方向的力,并且由于接合形成剪切力,器件的连接部位会产生周期性塑性应力应变,出现裂纹而发生失效。倒装焊器件极低的凸点高度(25μm~100μm)加重了这一问题。
2、底部填充胶分层开裂失效 底部填充料会由于真空、辐照等外部环境或内部应力,产生分层和空洞,通常在塑性基板上产生较多。
3、机械应力导致的芯片损伤失效
在温度循环或热冲击时,基板收缩比较严重,将使芯片受到向内的应力,致使芯片和基板弯曲,导致芯片表面的中心或靠下角处开裂,从而导致电路失效。
4、电迁移失效 当器件长时间工作在大电流的情况下,互连部位表面可能会产生晶须,可能与其它内部导线连接,产生短路失效。
5、腐蚀失效 对于未填充的电路,焊点直接与空气接触,空气中的水分等物质造成焊点的腐蚀;对于填充的电路,由于填充物质非气密,同样会对连接部位造成腐蚀。腐蚀会造成连接处部分缺失甚至断开,从而导致器件失效。
以上失效模式与焊料凸点、基板材料、有无填充胶、填充胶材料等相关,并且与工艺控制也有关系,所以要从材料的选择和工艺的控制角度把好关,提升器件可靠性。来源:航天元器件
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