国产首款E波段MEMS双工器成功研制

来源：中国电科第五十五研究所作者：侯芳 近日，五十五所与华为公司共同研发的E波段MEMS双工器技术取得重大突破，研制出国产首款MEMS波导型双工器。9月28日，双方联合研发团队在五十五所对研制的E波段MEMS双工器进行比对测试，产品性能与国外著名MEMS代工产线的样品性能相媲美，完全满足华为应用需求。该E波段MEMS双工器采用了五十五所自主开发的MEMS滤波器工艺Know-How技术，优化精简了双工器工艺流程，与国外代工线相比，在性能相当的情况下，显著降低了生产成本。E波段MEMS双工器将国产MEMS滤波器频率提升到E波段,产品的研制成功将极大推动我国高频宽带滤波器核心器件研制进程。今年5月开始，中国电科首席专家朱健团队与华为公司器件首席专家谢荣华团队就联合开发E波段MEMS双工器进行了正式合作洽谈，双方从设计、工艺、低成本等多方面展开了研讨。会后五十五所积极响应，针对华为公司不同应用的侧重点，在一周之内拿出了分布实施的三套技术方案，并在短短1个月内就研制出首轮E波段双工器样品。据悉，五十五所MEMS滤波器团队距2005年开发出国产首款MEMS滤波器产品至今，已开发出L-Ka波段千余款系列MEMS产品；针对华为的5G通信需求，已推出28 GHz、42GHz等MEMS滤波器产品。微波与制导微信：xfmwgd投稿邮箱：weibozhidao8605@163.com