参选中国宽禁带功率半导体最具发展企业风采展示—中国电子科技集团公司第四十八研究所

　　公司名称 　　中国电子科技集团公司第四十八研究所 公司简介 　　中国电子科技集团公司第四十八研究所(以下简称：中国电科48所)成立于1964年，位于中国·湖南·长沙，是我国主要以集成电路、半导体照明、太阳能光伏、磁性材料、新型储能材料、特种传感器和SOI材料等技术为主的骨干科研生产机构，是我国唯一以离子注入机为主的微电子装备供应商、以MOCVD设备为主的光电子装备供应商，是我国最大的太阳能光伏制造装备供应商、最大的磁性材料制造装备供应商。　　中国电科48所现有职工2000多人，其中研究员级高级工程师33人，高级工程师181人，有突出贡献享受政府特殊津贴专家29人。　　中国电科48所具有完善的质量管理体系，已通过 2000版ISO9001:2000、GJB2001、UL、CE、TüV、NRE等质量管理体系认证，是我国第一家通过ISO14001环境管理体系认证和OHSAS18001职业健康安全管理体系认证的电子专用装备研制生产单位，是总装备部“军用电子元器件科研生产先进单位”和《军用电子装备科研生产许可证》单位，而且是国内电子专用设备行业唯一通过军工质量保证体系认证的单位。中国电科48所电子专用装备及环保节能产品的用户覆盖含香港、台湾在内的全国32个省市区及美国、德国、法国、西班牙、意大利、新加坡、韩国、伊朗、印度等国家。　　数十年来，利用自身雄厚的科研技术和人才优势，中国电科48所始终立足于行业科技发展的最前沿，努力提高自主创新能力，已在主要产品领域拥有一批自主知识产权和核心技术。共取得重大科研成果380余项，其中填补国内空白项目148项、达到国际先进水平项目138项、列为国家替代进口项目119项。获得了包括国家科技进步奖在内的省、部级以上科研成果奖励232项及大量荣誉，拥有专利278项和软件版权17项，制定行业标准18项。 产品信息 　　1. 离子注入机系列　　中国电科48所研制的M56700-1/UM型SiC高温高能离子注入机，满足4-6英寸SiC器件的生产要求，是国内首台完全具有自主知识产权的SiC离子注入机，解决了Al+离子源、高能、高温注入等技术难点，已成功推广应用到国内SiC器件生产线，性能指标达到国际先进水平。并为国内众多企业、高校、科研机构提供离子注入工艺服务，配合客户开发出性能优良的SiC器件。　　2. SiC外延炉　　中国电科48所研制的M85100-1/UM型SiC外延生长炉，为多片式SiC外延炉，拥有核心技术专利，可提供4英寸N型SiC外延片，外延厚度和掺杂浓度可定制，满足SiC-SBD、MOSFET和BJT等高功率器件的生产要求。　　3. GaN-MOCVD系列　　中国电科48所研制的M85100-1/UM型GaN-MOCVD设备，用于第三代半导体GaN基材料及器件结构的科研生产，具备1500℃的晶片加热能力，可解决高Al组分AlGaN材料的生长过程中Al原子迁移率低的难题。获得低缺陷密度、高质量的AlGaN、AlN外延材料，是GaN/AlN基高端器件性能提升和产业化发展的关键设备。主要应用于功率器件、AlN模板材料、紫外/深紫外LED、紫外探测器件等的制备。　　4. PVD镀膜机系列　　离子束溅射镀膜机、磁控溅射镀膜机等PVD镀膜设备种类多、功能全，广泛应用于微电子、光电子、MEMS等薄膜制备领域。生产型PVD镀膜设备具有全自动、一键式镀膜功能，可满足企业对4-12英寸基片的镀膜需求。　　公司优势 　　中国电科48所连续承担国家微电子、光电子重大科技攻关项目，始终走在行业科技发展的最前端。产品已出口到欧、亚市场，累计向国内外用户提供了5000多台(套)大型关键设备，国内相关行业的领航级企业均为我们的客户。　　中国电科48所的主要产品包括太阳能光伏产品及装备、半导体工艺设备、特种传感器、磁性材料制造装备等，也是国内唯一具备硅片生产-晶硅太阳能电池制备-组件加工-应用系统开发的太阳能光伏产业链整线集成服务商。中国电科48所研究和开发的半导体工艺设备主要有：外延设备(MOCVD设备/SiC外延设备/LPE系统等)、掺杂设备(离子注入机、扩散炉等)、CVD设备(PECVD设备、LPCVD设备等)、PVD设备(离子束沉积设备、磁控溅射镀膜设备等)、刻蚀设备(离子束刻蚀机、ICP刻蚀机等)以及封装设备(激光缝焊机、HTCC烧结炉)。中国电科48所高度重视设备与工艺融合发展，利用自身开发的PVD设备和薄膜工艺优势，开发出了一系列用于航天、航空、兵器、船舶工业的特种薄膜传感器，如薄膜压力传感器、薄膜温度传感器、薄膜氢气传感器等。　　中国电科48所创建了从基础研究、共性技术研究、产品开发到产业化的工艺装备技术创新体系。在国家重大项目的支持下，中国电科48所在SiC外延设备、高温MOCVD设备、SiC离子注入设备等宽禁带半导体工艺设备领域突破了一批核心技术和关键共性技术，建有两大千级净化实验室——“高温MOCVD设备及外延工艺实验室”和“SiC外延设备及工艺实验室”，总占地面积超过1000平方米，配套了一大批国外先进精密测试仪器，为宽禁代半导体设备的开发与生产提供可靠的工艺验证平台。中国电科48所已成功将一大批半导体工艺设备国产化、工程化和产业化，并推广应用到业界知名企业，行业影响力较大。　　中国电科48所拥有先进的设计和加工手段，采用全计算机辅助设计，是全国CAD应用工程示范单位;具有多种大、中、小型机床、数控机床和进口全自动钣金加工设备;配有超净装配厂房和各类先进的检测仪器，是国内极有实力的电子专用设备制造单位。本文来自电力电子产业网，感谢原作者的付出，如转载不当，请及时联系我们。